刻蚀

ETCH
刻蚀工艺是通过等离子体或化学反应在基板上选择性去除材料的一种技术。质量流量计在刻蚀过程中用于精确控制刻蚀气体的流量，以实现高选择性和高均匀性的刻蚀效果。GT1000/2000系列产品能够优化刻蚀速率和形貌控制，满足复杂结构的加工需求。