应用

蓝动精密的全系列质量流量控制器(MFC)具备高洁净、高精度、可重复性佳、低零漂等多种优势,为客户提供可靠的气体流量测量及控制解决方案,给晶圆生产过程的高一致性、优秀的均匀性控制提供关键助力。

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