化学气相沉积
PE-CVD是一种通过在化学气相沉积过程中引入等离子体来增强反应效率的薄膜沉积技术。PE-CVD利用等离子体来分解前驱体气体，从而在较低温度下实现高质量的薄膜沉积。MFC在PE-CVD过程中的关键作用是确保前驱体气体和反应气体的精确控制和稳定输送。GT1000/2000系列产品能够保证每个沉积周期中的气体流量一致，从而实现薄膜厚度和组成的严格控制，提高工艺重复性和产品质量。