物理气相沉积

PVD
物理气相沉积技术通过物理方式将材料从靶材转移到基板上形成薄膜。质量流量计在物理气相沉积工艺中主要用于控制反应气体和辅助气体的流量。GT1000/2000产品能够快速且高精度地调节气体流量，以优化沉积速率和薄膜特性，确保膜层的均匀性和质量。